促进剂的作用是调整显影液中氢离子的浓度,从而控制显影剂的电离浓度。显影过程中,溶液中释放出的氢离子,如果不加以控制,那么会使溶液中氢离子浓度继续增大,使得PH值明显降低,显影剂的电离速度就会明显减慢,从而严重影响了显影速度。碱的促进作用就在于它与氢离子不断中和而生成水,从而使显影液中的显影离子保持稳定的浓度,使显影进行得正常。感光测定是研究曝光量与其在感光材料所产生的黑化程度之间的关系。
显影适用性
A、走版均匀,波动小:
B。审液少(显影液/水洗、水洗/保护胶、保护胶/烘干段) ;
C、版材正反面不易产生划伤(导轨弧度及材质问题) ;
D、是否在版面留下脏物(辊子大小及硬度) ;
E、显影的均匀性;
F、保护胶均匀性;
G、显影不同厚度的版子,是否在显影上存在区别;
H、是否易卡版;
1、循环水的再利用系统
测试步骤
用初始Recipe生产测试版,并量测CD做数据分析。根据数据分析结果中Radio误差数据,调整显影工艺段Recipe,通过显影补偿手段使得Radio误差数据优。通过调整曝光机Bias,显影时间和蚀刻时间等参数使得CD Mean指标达标。使用优化后的Recipe生产测试版,重复CD Uniformity测试,检验现有工艺条件下该指标的性能。工艺原理双色氧化是利用多种工艺手段在铝件上阳极氧化并形成两种颜色的过程。
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